QVH4 HYPER 302/404/606 PRO 高精度型、复合型测量机
QVH4 HYPER Pro是配备非接触式位移传感器、可利用扫描功能测量细微阶差和3D形状的高精度型、复合型测量机。
配备波长共焦方式的非接触位移传感器（色差点传感器）。
位移传感器采用LED 光源， 利用自动调光功能， 即便是反射率不同的材质也可进行连续测量。
产品型号
| 型号 | 测量范围：X轴最大（mm） | Y轴最大（mm | Z轴最大（mm） |
QVH4 HYPER 302 Pro | 300 | 200 | 200 |
QVH4 HYPER 404 Pro | 400 | 400 | 250 |
QVH4 HYPER 606 Pro | 600 | 650 | 250 |
技术参数
名称 | QVH4 HYPER 302 Pro | QVH4 HYPER 404 Pro | QVH4 HYPER 606 Pro |
货号 | 365-605 | 365-615 | 365-625 |
型号 | QVH4A-H302P1L-E | QVH4A-H404P1L-E | QVH4A-H606P1L-E |
光栅尺分辨力 [µm] | 0.02 |
影像测量精度[µm] | EUX/EUY,MPE | （0.8+2L/1000） |
EUXY,MPE | （1.4+3L/1000） |
EUZ, MPE | （1.5+2L/1000） |
位移传感器 测量精度[µm]※1 | E1Z | （1.5+2L/1000） |
温度补偿功能 | 自动温度补偿 |
