311系列 高精度矩形直角尺

高精度矩形直角尺是一种可用于检测如机床、三坐标测量机、形状测量机和半导体相关设备上的动件的运动直线度和轴向垂直度的量规。

四个表面，都采用了基于量块和其他产品超高精密抛光处理的经验，可以用作基准面。

直线度和垂直度都优于1μm/300mm。此外，正面和背面的精度优于5μm/300mm。

提供三种标称尺寸(90×110, 160×210和260×310mm)，以便选择适合的应用场景。

通用规格

基准面

垂直度公差: 1μm

直线度公差: 1μm

前/后面

垂直度公差: 5μm

直线度公差: 5μm

提供专用木箱。

技术参数